Le système de mesure interféromètrique Micromap fonctionne sur le principe de l'interféromètre de Michelson (interférences obtenues entre un miroir de référence et la surface de l'échantillon).
L'échantillon est éclairé par une source blanche filtrée.
Une partie du faisceau lumineux (50%) est envoyé sur une surface de référence grâce à une lame séparatrice. L'autre partie du faisceau éclaire la surface de l'échantillon. Les faisceaux réfléchis sur l'échantillon d'une part et sur la surface de référence d'autre part se combinent sur la surface séparatrice et interférent. Les écarts de hauteur entre l'échantillon et la référence produisent une figure d'interférence traduisant la surface de l'échantillon.

Ces écarts de hauteur sont enregistrés et traités informatiquement de manière à reconstituer l'intégralité de la surface mesurée, de l'ordre de quelques centaines de µm2.
Nous pouvons ainsi caractériser l'état de la surface, calculer des paramètres de rugosité, mesurer des distances et des hauteurs, représenter la surface en 2D et 3D.
Ce système est particulièrement adapté pour la caractérisation des surfaces super polies.